新世界向洁净的挑战-洁净室的质量控制-Cleanroom Quality Control(1)

　　在上述三种领域的产品中，如果有污染进入，就可以构成障碍、短路、杂质源和潜在缺陷。

　　然而，就今天人类发展的水平来看，技术进步了，设备进步了，人的知识水平提高了，但是，唯独环境退步了，空气质量退步了，污染加重了。

　　所以，为了向三大科技战略方向进军，除了工艺本身以外，最重要的是要向洁净挑战，创造一个洁净度更高的室内微环境。

　　三大战略方向中的芯片生产，需要的微环境正是洁净技术特别是空气洁净技术中的工业洁净室。医学与药物还有生物工程需要的是空气洁净技术中的生物洁净室，其中医学与药物主要需要一般生物洁净室，生物工程主要需要生物安全洁净室。

　　可见，洁净技术和三大战略方向有着何等密切的关系了。[1]

1.2 半导体集成电路芯片的发展速度恐怕是任何一项技术无法比拟的，差不多每三年集成度增加 4 倍，从 1970 年的 1K 到 1986 年的1M，再到 2001 年的1KM。

　　今天，每个元件上的线距，已从二十几年前的 1～2 μ m ，缩小到 0.1～0.2 μ m 。据最新消息，我国第一款 0.18 μ m 通用芯片已调试成功即将商品化生产，其运算速度达到每秒 2 亿次。中科院将于 2003 年研制出1KM（ G ）水平的 CPU 。由于可能有多个微粒同时落在一处或在一处逐渐凝聚，所以控制不致使芯片上的线路短路的微粒粒径常取线距的 1/3～ 1/10 ，即几天已达到的 0.18～0.018 μ m 。

1.3医学与药物与人民人身安全的关系最密切。

　　医学方面应用这种洁净环境最广泛的洁净手术室，是用空气洁净技术取代传统的紫外线等消毒方面而能对全过程实行污染控制的现代手术室。因为在洁净手术室内感染率可降低 10 倍以上，从而可以很少或不用会伤害患者免疫系统的抗生素。既要无尘又要无菌则是洁净手术室的特点。